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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

创业项目后台 某魔幻光电器件制造厂公司主处于长四角地,大部分引起晶圆和心片。在引起方式中,晶圆裁切和抛光办理时期引起很大碾磨液废气,单日进行排股票放量约50吨。基于废气中具有高溶液浓度悬浮按钮物、废金属正离子及有机会更改剂,会直接进行排卸会对环境产生特别严重破坏,公司主急用修建的专业办理配制。 废水处理工艺材质及种类 考虑液生活污水重点来自于晶圆代加工中的电化学机诫打磨(CMP)生产工艺,重点严重废水以及: 悬浮物顆粒物 :二钝化硅、钝化铝等碾磨小粒,颗粒直径在0.1-1μm,酸度更是高达2000mg/L。 材料化合物 :铜、铁、锌等,产于抛光处理垫摩擦及晶圆外表合金层,铜正离子密度约50mg/L。 可挥发放入剂 :是指表面层化学活化剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 腐蚀性性物资 :pH值上下波动大,大部分在2-11区间内。 进行处理施工工艺程序 对应电镀废水因素,选择“预治理 +生物化+的深度治理 ”组合名字生产工艺: 控制池 :稳定水污染发电量,加酸性调整pH至弱酸性。 沥青混凝土沉淀物中 :加药PAC(汇聚氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),彻底清除漂浮物和胶体溶液,沉降后SS彻底清除率>90%。 促使钝化 :利用Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)分解有机质增多剂,COD消除率达60%。 生态学治疗 :MBR膜怪物反應器进几步可降解用不完巧妙物,COD下降100mg/L一下。 铁离子互换 :多功能硅胶粘合剂树脂吸附铜正离子,溢水铜含铁<0.5mg/L。 砂滤+活性氧炭活性炭过滤 :保证 满水后清晰,达成《污泥全方位的尾气排放规范标准单位规范标准单位》(GB8978-1996)特一级规范标准单位。 然后效果好 设备自动运行不稳定性后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜正离子<0.3mg/L。 回收率达40%,所剩合格进行排放口,年降低污废水 进行排放口1.6万吨。 治理 成本预算约15元/吨,远超过服务行业月均。

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