该晶圆研制厂处在华东划分地区划分,主要产出85英寸半导体技术晶圆,平均废渣排污量约800吨。因产出工作中在使用过多氢氧化钠对其进行晶圆蚀刻,使得废渣中氟化物氨水浓度高达模型200-300mg/L,远超国家地区排污规格(10mg/L如下)。
污水物质及种类
生产废水重点出于这三个步骤:
晶圆蚀刻生产工序
:含高溶液浓度氟化物(HF)、氰化钠及一点天价属
物理机械制造磨光(CMP)化工废水
:含纳米级级硅颗粒肥料、有机肥料络合剂
主设备冲洗焦化废水
:含异丙醇、氟化物等有机化学物
整理的工艺具体步骤
应用"普通机械积累+沥青混凝土积累+纵深吸附"三级分销工作体系:
特级除理
:加药系统氯化钙和氢硫化钙,组成氟化钙沉定,氟化物洗去率达85%
两级加工
:移除PAC(配位聚氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),祛除氢氧化铁态被固体废弃物
三级分销清理
:完成多物料活性氧炭滤芯过滤器和活性氧炭气体吸附,满水后氟化物浓度值平稳在8mg/L一下
要素机械比如:pH自動调试系统化、斜管石雕文化沉沙池、板框刮刀离心机(污泥干化甩干)。
结果英文结果
项目流程使用3年检测数据报告界面显示:
氟化物人均酸度:7.2mg/L(远低于国规格)
COD消除率:92%
污水含水分率:≤65%
年回笼氟化钙副的产品约150吨,确保资源英文化进行