该厂为89英寸晶圆生孩子线搭配的超蒸馏水系统化，时刻诞生含硅废气150吨。废气中虽无天价属，但硅的含量高易积灰，且内阻率需以达到18MΩ·cm才华中水回用。同一处理工学院艺不可充分满足新施行的《智能电子行业水的环境有害特性排污规范》（GB39731-2020）相当排污卫生防护距离。 废液营养成分优势特点 基本弄脏物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗料硅（比表面积0.1-1μm） 特出请求 ：TOC<10μg/L，硼含水量<5μg/L 污水水质特质 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅有机化合物要素麻烦 正确处理工艺步骤流程步骤 不断创新用于"梯级膜转移+电去铝离子"团体加工： 微滤预除理 ：1μm工业陶瓷膜屏蔽大颗粒剂硅，通量保持80LMH 阴阳离子交換树脂胶 ：D201大孔不饱和树脂的抑制性吸附剂硅酸团伙 下级RO操作系统 ：首个段收售率60%，第一段进行高脱硼膜部件 EDI电去正离子 ：电压导热系数2A/m²，维持避开的残留物阴离子 分光光度计杀菌消毒 ：254nmUV太阳辐射线分子量40mJ/cm² 工艺新亮点 发展特用阻硅剂（有机的胺类和好物），减轻膜弄脏周期时间3倍 EDI模块图片多元化流道制作，硅弄掉率加快至99.8% 线硅了解仪（校正范围之内0.1-500μg/L）操作靶向操作 自动运行工作成效 经三、方的检测： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼纯度从8μg/L减少为0.3μg/L 装置收购率从原40%改善至68% 膜变更周期性拉长至5年，年正常运作资金减低35%