某半导加工制造企业因晶圆除污工艺程序造成含氨电镀废水,的水量200吨/天。电镀废自来水中除氟化物外还带有氟化物和少量血本属,补救一定难度大。本地人废气规定的要求氟化物<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废气有效成分及源头
晶圆的清洗废水处理方法(一般种类):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀多种工序焦化废水:含氢化物发生器铜、镍等天价属,pH值浮动大
CMP粉磨焦化废水:含硅颗粒剂及高锰酸盐指数
正确处理技术步奏
运用"电化学沉淀物中+膜分离处理+折点氯化"女子组合工艺技术:
预处里
:加药系统CaCl2除氟,掌握pH在7.5-8.
反渗透装置设备
:清除0.01μm上粉末物
反融于高浓
:将氧化还原电位沉淀至1000mg/L以内
折点氯化
:精准掌控氯污泥脱水量,将挥发酚转化率为离氮气
亚铁离子相互交换
:基本保障血本属符合标准
决定成效
氧化还原电位不稳<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属占比如果低于查测限
水造纸废水处理率达75%
污泥处理有量以减少40%