杭州某半导体技术集成块制造出厂,晶圆生产制造全过程中生产含硅、氟的特出焦化废水处理,设计的处理投资规模1200吨/日。焦化废水处理因素复杂性,带有奈米级硅颗粒物及氢氧化钠,以往处理方案无从未达标。
污废水 组成及由来
核心生态破坏物
:胶体溶液硅(100-500nm粒级)、氟阴阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
从何而来环节
:晶圆刻蚀化工废液(45%)、CMP化学反应机器抛光剂化工废液(40%)、机械清洗水(15%)
除理鑫霖环保工作流程
什么是创新主要包括"催化滤渣+防化膜溶合"技术设备线路:
钙盐析出
:加药氯化钙消除氟铁离子(制成CaF2滤渣)
斜板沉淀池症状
:包覆水解酸化池剂完成橡胶胶体部分硅脱稳
管式微滤
:0.1μm粒径膜公款私存微细颗粒剂
反渗透设备法软件系统
:脱盐率>98%,回收并率75%
化掉凝结
:浓水段控制氟化物达标排放量
决定性功效
氟化物浓度值:<8mg/L(如果低于发达国家一个标准单位10mg/L)
硅分子量:<5mg/L
水网络资源使用率:70%适用降温塔补湿
垃圾减轻:多效蒸发杂质量较传统意义生产工艺减小60%